本發明涉及一種用于真空結晶爐中保溫組件的材料的生產方法。主要是為解決現有的由鉬或石墨氈制成的保溫組件對結晶爐內產生污染,影響晶體質量等問題而發明的。方法是將生產態粒度為2.55um,研磨態粒度為2.3um的W顆粒和生產態粒度為2.65um,研磨態粒度為2.4um的Mo顆?;旌?,其中W和Mo的重量相等,混合后再加入占W顆粒和Mo顆??傊亓?.2%-0.5%的CeO,和占W顆粒和Mo顆??傊亓?.05%-0.1%的ZrH2,混合均勻后經冷等靜壓機壓制成型,最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結爐內燒結。優點是不會對真空結晶爐內產生污染,不影響晶體質量。
聲明:
“用于真空結晶爐保溫組件的材料的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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