本發明涉及粉末冶金制備技術領域,提供了一種鉬鈮合金靶材及其制備方法。本發明提供的制備方法包括以下步驟:將鉬粉和鈮粉混合后壓制,得到生坯;所述鉬粉的平均顆粒尺寸為2~5μm,鈮粉的平均顆粒尺寸≤2μm;將所述生坯進行真空燒結處理,得到鉬鈮燒結體;將所述鉬鈮燒結體依次進行塑性變形和真空熱處理,得到鉬鈮合金靶材。本發明提供的方法能夠制備得到延展性好、致密度高的鉬鈮合金靶材,實施例結果表明,本發明制備得到的鉬鈮合金靶材在長度方向上可延伸3~5倍沒有裂紋出現,能夠從500mm延伸至2800mm,致密度可達99%。且本發明提供的方法無需進行熱等靜壓燒結處理,大幅度的降低了生產成本。
聲明:
“鉬鈮合金靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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