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    直接水冷的粉末燒結多元合金鍍膜靶

    924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:59:02
    本實用新型提供了一種直接水冷的粉末燒結多元合金鍍膜靶,所要解決的問題是:粉末燒結的靶材其內部存在微細空隙,會漏水,只能采用間接水冷的方式。本實用新型的要點是在靶塊的下面復合一個金屬軋制的靶座。制造時采用真空燒結爐,將底座與靶材通過紫銅焊料燒結在一起。本實用新型的有益效果是:在合金靶材底面設置了不透水的靶材底座,可直接對鍍膜靶的底座進行水冷,提高了冷卻效果和成膜質量。節省約1/3的貴重多元粉體金屬材料,降低靶材的制造成本。
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