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    鉻鋁硼合金復合靶材及其制備方法

    1194   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:01:02
    本發明公開了一種鉻鋁硼合金復合靶材及其制備方法，該復合靶材具有雙層結構，上層以鉻鋁硼合金靶材為基體，底層是銅背板，上層結合于底層上；鉻鋁硼合金靶材按原子百分比由以下成分組成：Cr：19?70％，Al：20?80％，B：0?30％且B不為0；該制備方法采用CrB2合金粉為原料，包括以下步驟：CrB2合金粉的制備、CrAlB合金粉的制備、CrAlB錠坯的制備、預處理和CrAlB?Cu復合靶材的制備。本發明制備的CrAlB合金靶材純度高，致密度高，組織均勻無偏析，導熱性能和塑性都有改善；復合靶材在高的濺射功率或功率密度下使用時，靶材裝夾部位能承受機械應力和熱應力作用，既不脆性斷裂也不受力彎曲翹曲。
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