本發明一種鈮電容器介質膜強化方法,屬電子元件制作技術領域,是將現有工藝電化學制造后有介質膜的陽極塊進行強化處理,其處理方法是將陽極塊在250℃~400℃的烘箱中干烘10~30min,再在0.1%~1%v/v、60℃~90℃的硝酸水溶液的電解槽中,以與陽極塊連接的電極為正極對陽極塊實施電化學氧化。由于對第一次制備的介質氧化膜采取了“干烘+形成”的工藝處理后,明顯降低了陽極塊的漏電流值,介質膜的晶粒更小,膜層更致密。
聲明:
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