本發明提供一種納米金屬層陶瓷基板的制造方法,包括以下內容:(1)在陶瓷襯底表面沉積活性金屬得到沉積活性金屬過渡層的陶瓷基片;(2)將(1)中沉積了活性金屬過渡層的陶瓷基片表面通過SPS法熱壓燒結納米金屬粉,形成納米金屬層,制備納米金屬層陶瓷基板。本發明所述方法中,納米銅金屬層與陶瓷基體的結合強度提高,納米金屬層的塑性好強度高,保證了大功率、超大功率陶瓷基板在高低溫冷熱循環作用下的熱疲勞抗力,從而防止了金屬層的脫落,陶瓷基板的翹曲等不良現象。
聲明:
“納米金屬層陶瓷基板及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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