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    控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法

    1030   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:02
    本發明公開了一種控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法，將混合粉體通過冷等靜壓成形，并進行高溫真空脫氣處理，再以吸氧性金屬箔材隔離毛坯和石墨模具，經真空熱壓燒結得到鎢硅靶材。該方法有助于鎢硅靶材中易揮發非金屬元素的脫除，有效地控制了鎢硅靶材中的非金屬元素含量，具有可操作性強、成本低的特點。
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    聲明：
    “控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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