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    靶材用鉬鈮合金板的制備方法

    1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:03
    本發明涉及一種靶材用鉬鈮合金板的制備方法。其特點是，包括如下步驟：首先將鉬粉和鈮粉按照5～15：85～95的質量比混合得到混合粉，將該混合粉壓成合金坯，然后進行燒結，燒結過程中通入氫氣進行保護，當燒結溫度到1000℃保溫2～3小時，再升溫到1700℃保溫2～3小時，然后升溫到1950℃保溫8～10小時，最終燒結成合金坯狀，再經過1200～1400℃高溫煅造后在1500～1600℃下軋制成板材即可。本發明提供了一種成本低廉，質量等各方面能滿足要求的靶材用鉬鈮合金板的新方法，產品主要應用于平板顯示器等領域。
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    聲明：
    “靶材用鉬鈮合金板的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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