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    以二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法

    1099   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:22
    本發明涉及一種以高純二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法，屬于非金屬礦深加工技術領域。以高純H2為還原劑、以高純SiO2為硅源，先在高溫1250?1300℃下通入H2，使SiO2被還原成SiO，O與H2反應生成H2O；然后再升溫到1350℃通入H2，把溫度控制在1350?1400℃之間。此時SiO被H2還原成高純Si，SiO中的O與H2發生氧化還原反應后生成H2O，整個制備過程對環境無任何污染。
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    “以二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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