本發明屬真空系統元器件領域,尤其涉及一種導軌式真空連桿插板閥,包括閥體(2);在閥體(2)工作腔內設有傳動機構;傳動機構包括兩條對稱平行的導軌(6);導軌(6)包括上層軌道工作面(601)及下層軌道工作面(602);下層軌道工作面(602)的一端部配有下沉槽(12);上層軌道工作面(601)設有閥架(7);導輪機構I(4)與上層軌道工作面(601)滑動相接;下層軌道工作面(602)上設有閥板(8);導輪機構II(5)與下層軌道(602)滑動相接;閥架(7)與閥板(8)之間設有連桿(11)。本發明結構簡單,易拆卸,密封性能好,可靠性高,適合高溫輻射工況。
聲明:
“導軌式真空連桿插板閥” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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