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    小抽速無油渦旋真空泵

    1192   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:22
    本發明涉及真空泵技術領域,是一種小抽速無油渦旋真空泵,具有結構緊湊,體積小,極限壓力低等特點,抽速為4L/s。本發明所述的轉子渦旋盤為三點定位結構,依靠均布的三個曲柄軸部件使轉子渦旋盤繞定子渦旋盤沿固定圓軌跡平動,完成抽氣過程。所述的渦旋盤表面經硬質氧化處理并噴涂特氟隆。所述的密封墊片采用特氟隆材料。本發明是干式真空泵的一種,清潔度高,適用于半導體、科學儀器、精細化工、醫療等行業。
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    “小抽速無油渦旋真空泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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