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    大口徑高真空油擴散泵

    768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:22
    本發明公開了一種擴散泵，特別是涉及一種大口徑高真空油擴散泵，它適合應用于真空爐、真空鍍膜機。大口徑高真空油擴散泵，它包括泵體、設置在泵體內的泵芯組件，其中加熱器設置在泵體底部、泵體的排氣口內設有擋油裝置，泵體采用了凸腔結構，泵芯組件垂直安裝在泵體內中心油槽內，泵芯組件結構是由內至外依次設置一級導流管、二級導流管和三級導流管構成整體結構，各級導流管上部均設有傘帽形擴散噴嘴，噴射噴嘴垂直焊接在三級導流管的底部，一級導流管的高度比二級導流管高，二級導流管的高度比三級導流管高。本發明具有大口徑、極限真空度高、抽氣速率高、返油率低、耗電量低的特點。
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    聲明：
    “大口徑高真空油擴散泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    真空冶金
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