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    淺溝槽隔離結構平坦化性能檢測方法

    918   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:16:37
    一種淺溝槽隔離結構平坦化性能檢測方法,包括:提供形成淺溝槽隔離結構的晶圓,所述淺溝槽隔離結構的隔離氧化層進行過平坦化處理;在所述晶圓上制作集成電路;對所述晶圓進行晶圓可接受性測試;根據可接受性測試數據判斷淺溝槽隔離結構平坦化性能;選出淺溝槽隔離結構平坦化性能不合格的晶圓。所述檢測方法可以及早發現不合格的晶圓,并可以及時改進淺溝槽隔離結構平坦化工藝,而且,在晶圓進入測試工藝提前進行電性能測試,挑選出不合格產品,提高了出廠的晶圓的良率。
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