本發明提出一種靜電預加載的微納材料力學性能檢測結構,包括后屈曲式微力檢測結構和靜電式屈曲預加載結構,其中,靜電式屈曲預加載結構在加載電壓后能夠利用靜電作用力引發內部構件變形以實施預加載,當電熱式屈曲預加載結構未實施預加載時,后屈曲式微力檢測結構處于自然的無加載狀態,當靜電式屈曲預加載結構實施預加載時,后屈曲式微力檢測結構被軸向壓縮,處于預加載屈曲平衡狀態,然后后屈曲式微力檢測結構受到試件的軸向微力作用,預加載屈曲平衡狀態發生改變,使后屈曲式微力檢測結構發生放大的橫向結構變化,從而實現微力檢測。本發明具有尺寸小、穩定可靠,可重復使用,容易制造,對軸向微力敏感,力分辨率高,橫向變形可控制等優點。
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