本發明提供一種電熱性能檢測系統與檢測方法,所述系統包括信號發生器、高壓放大器、變溫臺、熱探針、原子力顯微鏡主控器、探針信號控制器和信號采集與處理器。所述方法包括以下步驟:通過變溫臺對熱探針進行標定;高壓放大器提供電壓對待測樣品進行電熱激勵;熱探針感知待測樣品的溫度變化,并以電信號輸出;探針信號控制器對熱探針輸出的電信號進行檢測,并由信號采集與處理器進行采集;信號采集與處理器根據采集到的電信號和標定數據得到待測樣品的溫度變化情況,再結合待測樣品上施加的電壓,獲得其電熱性能參數。本發明能對材料微觀和宏觀電熱性能進行直接測量,且準確度高,適用性廣。
聲明:
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