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    探針的研磨方法和研磨部件

    768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:25:56
    本發明提供一種探針的研磨方法和研磨部件,使得即使隨著探針板的大型化,探針增加,探針的排列區域超出研磨部件范圍,使用該研磨部件,也能確實地研磨探針,并能提高檢測的處理能力。本發明的探針的研磨方法,使用研磨片(10)研磨實施晶片電性能檢測的排列在探針板(20)上的多枚探針(21),利用載置臺(30)使外周緣部具有傾斜面(10A)的研磨片(10)移動,分多次研磨探針區域(21)。
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