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    MOCVD制備ZnO透明導電薄膜的方法

    1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:25:56
    一種MOCVD制備ZnO透明導電薄膜的方法,包括準備、清洗、光學檢測、CVD鍍膜、產品性能檢測、成品包裝6個步驟,其中CVD鍍膜的方法為在CVD鍍膜室中,以二甲基鋅和氧氣為源通過噴頭噴到加熱的玻璃片上,二甲基鋅氧化生成ZnO。在鍍膜過程中,還可以以三甲基鎵或氧化鋁作為摻雜源,獲得鎵摻雜ZnO(GZO)或鋁摻雜ZnO(AZO)。對光學檢測不合格的玻璃,可以重新清洗;對產品性能檢測不合格的產品,可以送入裝有稀鹽酸的腐蝕池中,腐蝕掉玻璃表面的ZnO從而將玻璃重新回收利用。本發明充分考慮了ZnO透明導電薄膜工業生產中的各個環節,具有產品性能優異、易于實現產業化等優點。
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