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    光束整形元件光學性能的檢測裝置和檢測方法

    1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:26:12
    一種用于紫外光刻機的光束整形元件的光學性能的檢測裝置和檢測方法,裝置的構成包括可見激光器,在該可見激光器輸出激光的方向同光軸地依次設有擴束鏡組、分束鏡、第一遠場成像透鏡、可調光闌或CCD圖像傳感器、第二遠場成像透鏡和第二能量傳感器。本發明適用于任何紫外波段的光束整形元件的光學性能檢測,而且具有成本低,使用簡便,測量快速的特點。
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