一種鐵電陶瓷微致冷器及其制備方法。其特征在 于微致冷器采用了“雙級復疊”的致冷結構,制備本發明微致 冷器采用具有高電生熱效應的弛豫性 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3與 PbTiO3 (PT)(簡稱PMNT)固溶體 的溶膠-凝膠(Sol-Gel)濕法制備方法,并采用新的物化減薄 方式和電生熱性能檢測手段。本發明的濕法Sol-Gel制備方 法,可有效抑制后續燒結過程中焦綠石相的形成,解決了現有 技術的干法陶瓷混料過程中混料不均引起成分偏析及引入金 屬離子雜質等問題,成瓷條件低于常規PMNT陶瓷制備工藝。 本發明的鐵電陶瓷微致冷器重量輕、體積小、無噪聲、無污染, 結構簡單,可通過施加電場直接致冷,無需使用致冷劑;致冷 啟動快,致冷效率高,尤其適用于微尺度器件的小功率致冷。
聲明:
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