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    一種半導體材料附接方法

    809   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:32:27
    本發明提供一種半導體材料附接方法，涉及材料附接技術領域。該半導體材料附接方法，包括以下步驟：S1.準備半導體基板，將基板利用HCl溶液進行沖洗，反復沖洗3?5次，然后取出并利用蒸餾水去除基板表面的溶液成分，最后將基板送入到真空環境中進行干燥處理；S2.準備好工作臺、多自由度機械爪、圖像采集頭、壓力傳感器與PLC控制器，多自由度機械爪、圖像采集頭與PLC控制器均設置在工作臺上。通過多自由度機械爪夾持半導體芯片，然后PLC控制器計算出多自由度機械爪的行走路線以及行走距離，準確的將半導體芯片送達到指定位置，大大減少了半導體芯片的位置出現誤差的問題，降低了次品率，保證了半導體材料后期的正常使用。
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    聲明：
    “一種半導體材料附接方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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