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    一種生長半絕緣砷化鎵單晶的摻碳裝置及摻碳方法

    764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:32:51
    一種生長半絕緣砷化鎵單晶的摻碳裝置及摻碳方法，涉及半導體材料技術領域，包括石英管和PBN坩堝組，PBN坩堝組裝于石英管內，石英管的兩端安裝有密封卡頭，石英管的兩端分別設置有管路，分別稱為充氣管路和排氣管路，充氣管路上設置有通斷閥門三，充氣管路上游為兩個并聯的支氣管路，分別稱為充氧管路和充碳管路，充氧管路連接有氧氣源，充碳管路連接有碳氣源，并且均通過閥門控制氧氣源或碳氣源的通斷；排氣管路的下游為兩個并聯的支氣管路，分別稱為放氣管路和抽真空管路，放氣管路上設置有閥門，抽真空管路上連接有抽真空裝置。本申請可分別實施充氧烘烤工藝和C沉積工藝，兩個工藝在同一設備上依次進行，簡化了設備，節省了熱能損耗。
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