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    用于生物化學分析的液滴操縱裝置,制造所述裝置的方法與微流體分析系統

    687   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 06:34:00
    本發明首要目的在于提供一種利用電浸潤在移動平面上操縱液滴的裝置,其包括至少一個移動軌道。所述移動軌道包括電絕緣基片,兩個或多個交叉指型導電電極位于所述基片表面。所述電極覆蓋有一電介質絕緣層,所述電介質絕緣層本身被局部浸潤層覆蓋。本發明還涉及上述裝置的生產方法,其中,局部浸潤層的形成包括通過在基片上淀積光敏材料、光刻步驟和光敏材料的顯影而形成光敏材料的掩模,在掩模上淀積非浸潤材料,至少一次溶解退火,溶解掩模,以及至少一次溶解后退火。本發明最后涉及對液體樣本的微流體分析系統,其包括至少一液體樣本準備裝置,其被耦合到至少一個根據本發明的液滴操縱裝置,所述液滴操縱裝置本身則被耦合道至少一樣本分析裝置。
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