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    化學氣相反應過程動態在線分析系統

    1020   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:35:13
    本發明公開了一種化學氣相反應過程動態在線分析系統,其特征在于:包括磁懸浮天平、紅外熱成像儀、色譜儀和質譜儀,磁懸浮天平固定在氣相反應爐的正上方,磁懸浮天平的掛鉤通過金屬繩與基體連接,在氣相反應爐的底部固連一單晶鍺,紅外熱成像儀的攝影頭透過單晶鍺與基體相向放置,出氣口上依次串聯有分子泵和六通閥,氣相色譜儀通過六通閥與氦氣源連通,在六通閥后,通過第一電磁閥和第二電磁閥并聯有質譜儀和真空泵。由于利用磁懸浮天平和紅外熱成像儀,在化學氣相滲透過程中實現了基體的重量和溫度變化實時測量,為研究化學氣相反應過程機理提供了翔實的數據。氣相色譜儀和質譜儀可同時對尾氣進行監測。
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    聲明：
    “化學氣相反應過程動態在線分析系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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