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    基于光譜的化學機械平坦化在線終點檢測方法

    998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:35:35
    本發明公開了一種基于光譜的化學機械平坦化在線終點檢測方法。首先根據被拋薄膜和基底材料的折射率n、消光系數k和目標膜厚d計算出理論光譜曲線，然后選取該曲線的一段波長區域，計算該區域內所有相對反射率極大值點對應的波長值λhi和極大值點對應的波長個數a、相對反射率極小值點對應的波長值λlk和極小值點對應的波長個數b。實時采集拋光過程中的原始光譜數據，得到濾波光譜曲線，選取相同波長區域的濾波光譜曲線區域的對應參數，并計算兩組數據之間的差異值。如果該值小于預先設定的閾值，則停止平坦化過程。本發明可以排除檢測光強信號變化帶來的干擾，不用對檢測光譜做歸一化處理，減少了運算時間，同時提升信號的檢測精度和檢測一致性。
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    聲明：
    “基于光譜的化學機械平坦化在線終點檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    標簽：
    化學分析
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