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    化學機械拋光中凹陷現象檢測單元、制作方法及檢測方法

    934   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 06:35:58
    化學機械拋光中凹陷現象檢測單元、制作方法及檢測方法,所述制作方法包括如下步驟:在經化學機械拋光后的圖形襯底表面生長檢測層;在檢測層表面生長覆蓋層;對覆蓋層表面進行化學機械拋光處理,至除去圖形襯底表面的圖形邊緣處對應的覆蓋層;采用選擇性刻蝕的方法,在圖形襯底表面形成檢測單元。本發明還提供了一種化學機械拋光中凹陷現象的檢測方法。本發明提供的制作方法和檢測方法,既適用于檢測導電材料構成的圖形襯底,又適用于檢測絕緣材料構成的圖形襯底,具有普適性。
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