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    基于振動模式的電化學檢測裝置控制系統及檢測方法

    682   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:35:59
    一種基于振動模式的電化學檢測裝置控制系統及檢測方法，涉及一種電化學檢測系統及檢測方法。檢測裝置固定在Z向位移臺上，X?Y二維氣浮平臺上固定三維壓電位移臺，信號發生器控制激振壓電陶瓷環的振動，電容式位移傳感器測得激振壓電陶瓷環的位移變化經電荷放大器處理后傳遞給鎖相放大器，PID控制器將鎖相放大器提取的電壓幅值信號運算處理后對壓電促動器進行控制，壓電促動器、X?Y二維氣浮平臺和三維壓電位移臺為上位機提供實時信號，上位機通過UMAC控制器控制Z向位移臺、X?Y二維氣浮平臺和三維壓電位移臺。探針以振動模式接近被測樣品表面，減小相互作用力不易損壞，Z向閉環反饋功能保證距離恒定，檢測更加準確。
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