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    化學機械研磨設備的研磨性能檢測方法

    1026   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:38
    本發明提供了一種化學機械研磨設備的研磨性能檢測方法。包括：利用化學機械研磨設備研磨襯底，并形成一反射層在研磨之后的襯底上，從而可以對反射層進行光學檢測，在光學檢測過程中反射層能夠將檢測光束反射至一檢測感應器上，檢測感應器獲取針對于襯底表面的檢測信號，進而可以檢測出襯底表面是否存在研磨缺陷，由此判斷化學機械研磨設備的研磨性能。本發明中的化學機械研磨設備的研磨性能檢測方法，能夠有效提高化學機械研磨設備研磨性能的檢測結果的準確性，并且還有利于縮短檢測化學機械研磨設備的研磨性能所需的時間，提高了化學機械研磨設備的利用率。
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