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    掃描電鏡原位電化學檢測芯片及其制作方法

    1046   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:40
    一種掃描電鏡原位電化學檢測芯片及其制作方法，涉及電化學檢測芯片。掃描電鏡原位電化學檢測芯片設有上片和下片，所述上片由兩面帶有氮化硅層的硅基片制成，所述兩面帶有氮化硅層的硅基片上設有兩個對稱的注液口和一個視窗口；所述下片由兩面帶有絕緣層和氮化硅層的硅基片制成，所述兩面帶有絕緣層和氮化硅層的硅基片一面設有參比電極、工作電極和對電極；所述上片和下片通過金屬鍵合層粘接。制作方法：1)制作上片；2)制作下片；3)將上片和下片通過金屬鍵合層粘接，形成一體化掃描電鏡原位電化學檢測芯片。使用時可直接通過注液口加入樣品，封閉注液口即可，操作簡便。
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