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    具有終點檢測窗口的化學機械拋光墊

    931   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:41
    本發明提供了一種化學機械拋光墊，其包括：具有拋光表面的拋光層；以及終點檢測窗口；其中所述終點檢測窗口包括以下組分的反應產物，所述組分包括：具有2-6.5重量％的未反應的NCO基團的異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預聚物以及固化劑體系，所述固化劑體系包括：至少5重量的雙官能的固化劑、至少5重量％的胺引發的多元醇固化劑以及25-90重量％的高分子量多元醇固化劑，所述胺引發的多元醇固化劑每個分子具有至少一個氮原子并且每個分子平均具有至少三個羥基；所述高分子量多元醇固化劑的數均分子量MN為2, 000-100, 000，并且每個分子平均具有3-10個羥基。本發明還提供了制備和使用所述化學機械拋光墊的方法。
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