本發明提供了一種電化學體系中工件的水平檢測裝置、調平裝置及調平方法。該水平檢測裝置包括:宏微位移平臺;位移臺,固設于宏微位移平臺確定的X-Y平面上,可在該X-Y平面上進行位移,電解池與該位移臺相對靜止;探針電極,固設于宏微位移平臺確定的Z方向上,其檢測端浸入垂直向下進入電解池內的電解液中,距離電解池內的工件預設距離;以及電化學工作站,其工作電極連接至探針電極,其輔助電極和參比電極均連接浸入電解池內的電解液中,控制工作電極電位恒定,檢測該工作電極隨位移臺的運動而變化的電流信號,獲得電流信號曲線,由電流信號曲線的起伏幅度獲知電解池內工件的傾斜程度。本發明可提高電解液中工件水平檢測的精度。
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