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    用于生物醫學電化學檢測的三維微電極及其制作方法

    1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:48
    本發明提出一種用于生物醫學電化學檢測的三維微電極結構及其制作方法。利用微加工技術,在襯底表面制作犧牲層和具有一定內應力的雙層金屬結構,通過去除犧牲層,將制作于襯底表面的微電極金屬釋放,使其通過本身的內應力作用產生背離襯底表面的翹曲,從而形成一種三維立體微電極結構。該三維微電極與將流體有更好的接觸,且在相同的電極尺寸下增大了微電極與流體的有效接觸面積。
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    聲明：
    “用于生物醫學電化學檢測的三維微電極及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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