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    化學機械研磨墊磨損的檢測裝置及工作方法

    884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:50
    本發明公開了一種化學機械研磨墊磨損的檢測裝置及工作方法，包括：激光光源，激光光源設置于研磨盤內，激光光源上面覆蓋有透明玻璃窗口；檢測裝置，檢測裝置安裝于修整器的連接桿上；檢測裝置包括光線接收器、研磨墊監測器和監測器外殼；監測器外殼為開口朝下的蓋體，蓋體的內壁的上端面設有光線接收器，光線接收器連接有研磨墊監測器。本發明使用光學方法實現了自動實時檢測研磨墊的磨損狀況，大大降低了因此造成的不良品率。
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