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    用于化學機械拋光工藝的在線終點檢測控制系統及方法

    1217   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:51
    本發明公開了一種用于化學機械拋光工藝的在線終點檢測控制系統及方法，該系統包括：數據獲取模塊，數據獲取模塊與拋光盤的電機驅動器相連，用于在化學機械拋光設備拋光晶圓的過程中，獲取電機驅動器中的電機功率信號；終點判斷模塊，用于判斷電機功率信號的變化是否滿足拋光工藝終點的條件，并在判斷出電機功率信號的變化滿足拋光工藝終點的條件時，控制化學機械拋光設備停止拋光晶圓。該實施例提出一種基于電機功率信號確定化學機械拋光工藝終點的控制系統及方法，準確判斷化學機械拋光工藝終點，控制晶圓拋光過程，避免過拋光或者欠拋光情況的發生，保證了拋光工藝質量。
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    “用于化學機械拋光工藝的在線終點檢測控制系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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