本實用新型公開了一種基于化學氣相沉積設備監測用測漏儀,包括儀器主體、數據連接座和金屬連接管,儀器主體的頂端設置有數據連接座,儀器主體的兩側均設置有防滑結構,數據連接座的內部安裝有金屬連接管,金屬連接管的一端固定連接有氣體檢測頭。本實用新型通過設置有緊固結構,當金屬連接管的另一端插入數據連接座的內部后,將緊固抱箍套在限位槽的外側隨后擰緊緊固抱箍,由于數據連接座被分割槽所分割在緊固抱箍擰緊后數據連接座逐漸合攏,并使數據連接座對插入的金屬連接管進行擠壓與夾持,進而使金屬連接管的另一端在插入數據連接座的內部不易出現脫落或松動現象,實現了對金屬連接管的連接加固。
聲明:
“基于化學氣相沉積設備監測用測漏儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)