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    在線測量PLD薄膜化學計量比及各成分質量的方法

    1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:46:30
    本發明涉及脈沖激光沉積鍍膜領域，公開了一種在線測量PLD薄膜化學計量比及各成分質量的方法。首先，在脈沖沉積鍍膜過程中，用激光誘導擊穿光譜（LIBS）測量沉積的薄膜中各個成分化學計量比；然后，用石英晶體微天平（QCM）測量薄膜總沉積量；最后，將LIBS的結果和QCM的結果相結合，得到薄膜中各成分的質量。本發明基于PLD技術、LIBS技術、QCM測膜厚技術，將LIBS和QCM相結合，彌補了LIBS定量分析比較困難，QCM不能進行物質分辨的不足。本發明能夠在脈沖激光沉積鍍膜過程中，實時原位在線測量薄膜化學計量比，不會對鍍膜過程有干擾，并且方法簡單，易于實現。
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