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    半導體器件失效分析樣品制作方法以及分析方法

    796   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:46:30
    本發明揭露了一種半導體器件失效分析樣品制作以及分析方法，采用化學試劑去除部分芯片背面的封裝覆層，不暴露封裝覆層內的引線，保持引線框架和引腳的完整。這樣，可以同時檢測芯片上多個引腳之間的功能單元和金屬互連線，無須以引線為終端來檢測。并且能在芯片工作的狀態下進行整個芯片的檢測和失效分析，大大提高了效率。此外，還能避免機械的開蓋方法對芯片背面造成損害。
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    聲明：
    “半導體器件失效分析樣品制作方法以及分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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