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    利用拉曼光譜測量非化學計量比氧化膜微區應力的方法

    815   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:46:30
    本發明公開一種利用拉曼光譜測量非化學計量比氧化膜微區應力的方法，包括：(1)在無應力條件下，利用拉曼光譜對不同化學計量比粉體材料進行測量，建立特征拉曼峰強比R與晶格振動峰位ω0的關系曲線；(2)分析待測薄膜的拉曼光譜數據，得到特征拉曼峰強比R′和拉曼晶格振動峰位置ωp，然后根據R′的值利用關系曲線得到對應的ω’0；(3)對粉體材料進行高壓拉曼實驗，得到晶格振動峰位與應力之間的關系k’1；(4)代入公式σ＝k’1(ωp-ω’0)，得到待測薄膜的應力值。本發明可使拉曼光譜法推廣到測量非化學計量比氧化膜的內應力，實現這類薄膜原位、無損的微區內應力測量，準確度較現有的拉曼光譜測量應力方法有大幅的提高。
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    “利用拉曼光譜測量非化學計量比氧化膜微區應力的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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