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    化學氣相沉積設備中實時測量襯底翹曲的方法及裝置

    1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明提供了一種化學氣相沉積設備中實時測量襯底翹曲的方法及裝置。該測量方法包含以下步驟：用分波前的方法將一束激光分成幾個相干光源照射襯底表面，用圖像傳感器測量襯底反射的衍射干涉圖樣形狀，對比有翹曲和無翹曲時的衍射干涉圖樣形狀計算襯底翹曲。使用該方法的測量裝置由光源、圖案擋光板、能量分光鏡、承載盤、圖像傳感器、信號處理單元組成。本發明的優點是測量裝置結構緊湊簡單，能夠實時快速檢測外延片的局部翹曲，能夠避免承載盤傾斜或者抖動造成的影響，測量精度高。
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    化學分析
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