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    用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本實用新型是用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統，其結構包括馬達、馬達驅動器、AI/O線、數據連接線、信號傳輸線、信號放大電路和總控制器，其中馬達通過AI/O線連接馬達驅動器，AI/O線的輸出端通過數據連接線連接信號傳輸線，信號傳輸線連接信號放大電路，信號放大電路連接總控制器。本實用新型的優點：結構簡單有效，在對晶圓研磨率的精度要求不高時，替代了投入成本高昂的激光測量設備，通過馬達負載力矩終點探測系統測量的數據完成晶圓研磨率數據檢測工作，有效降低了生產成本。
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