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    40Gb/s波導型PIN光探測器管芯臺面的化學腐蝕方法

    1159   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明公開了一種40Gb/s波導型PIN光探測器 管芯臺面的化學腐蝕方法。它涉及一種光通信用40Gb/s光探 測器關鍵部分——雙聯體管芯臺面的制作。該光探測器的管芯 臺面，是由InP/InGaAs/InGaAsP(或InGaAs/InAlAs/InP)多層異 質材料構成的、寬×長為(6－8)×(24－26)微米、高為(2.7－3.1) 微米的斜臺面結構。該臺面結構，由采用特定配比的HBr－ K2Cr2O7－ H2O混合腐蝕液，通過兩次(或 多次)化學腐蝕而成，并經臺階儀精確測試，達到規定要求。該 特定配比的混合腐蝕液，具有配置簡單、對大多數III－V半導 體化合物材料均能適用、腐蝕速率快、使用方便等諸多特點。
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    “40Gb/s波導型PIN光探測器管芯臺面的化學腐蝕方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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