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    機械與化學交互作用測量裝置

    1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明涉及化學機械拋光技術領域,公開了一種機械與化學交互作用測量裝置,包括機架、摩擦力測量部分、杠桿加載部分、往復直線運動的氮化硅小球和三電極部分。本發明的裝置可以模擬腐蝕條件下的磨粒磨損性能,實現了同時在線測量電化學參數和機械參數;可以測量化學機械拋光過程中單純的化學腐蝕量、機械磨損量以及交互作用去除量,從而對化學機械拋光過程中的材料去除機理進行研究。
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    “機械與化學交互作用測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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