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    電化學沉積納米薄膜的厚度測量方法

    806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:33
    本發明公開了一種電化學沉積納米薄膜的厚度測量方法。本發明首先制備多個互相絕緣的金屬薄膜電極，將進行電化學沉積的金屬薄膜電極通過電纜連接至電化學工作站，進行電化學沉積，采用形貌掃描設備掃描未進行電化學沉積和已進行電化學沉積的金屬薄膜電極的表面，得到掃描高度曲線；對掃描高度曲線進行拉平，得到去掉傾角的形貌曲線；根據去掉傾角的形貌曲線，計算未進行電化學沉積的金屬薄膜電極的高度與已進行電化學沉積的金屬薄膜電極的高度差，從而得到電化學沉積薄膜的厚度；本發明簡單易行，測量精度高；掃描設備的掃描量程為微米級，在此范圍內能夠實現納米級的掃描精度，因此能夠準確測量出納米級的電化學沉積薄膜的厚度。
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