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    可進行熱化學氣相沉積的原位測試平臺

    1173   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:08
    本發明提供一種可進行熱化學氣相沉積的原位測試平臺，包括：高溫熱臺反應腔體，其包括熱臺底座以及真空外罩，該真空外罩包括框架主體以及緊密安裝在該框架主體上的入射窗片和出射窗片；陶瓷加熱臺，安裝在熱臺底座上以承載一樣品；溫度控制系統，用以實時調節陶瓷加熱臺的溫度；真空系統，用以對高溫熱臺反應腔體內抽真空；反應氣體混氣系統，用以為高溫熱臺反應腔體內提供熱化學氣相沉積所需的氣源；以及真空測量系統，用以實時監測高溫熱臺反應腔體內的氣體壓強。本發明可以透過x射線，又可在線調節溫度、氣壓、氣流等反應條件，從而能夠以在線的方式對熱化學氣相沉積過程中材料的生長、物相變化等過程進行實時原位的表征與研究。
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    聲明：
    “可進行熱化學氣相沉積的原位測試平臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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