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    化學氣相沉積速率預測方法

    711   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:10
    本發明公開了一種化學氣相沉積速率預測方法,具體涉及化學工藝研究領域,具體預測方法如下:建立有限元反應器模型;建立能量守恒方程;建立質量守恒和動量守恒方程;建立多組分擴散方程;建立氣相反應模型;極限學習機模型和粘附系數法確定主要中間物質;建立表面反應模型;沉積速率預測模型建立粘度系數和表面濃度、沉積速率的相關性;建立中間物質粘度系數與其影響因素之間的多因變量的PLSR模型;根據實驗結果確定粘附系數。本發明結合機器學習和計算流體力學的模擬技術,將大大降低模型參數對人為經驗的依賴,通過少量實驗即可準確確定重要中間相和粘滯系數,達到預測結果準確性高、可靠性強的技術效果。
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