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    修整盤系統、化學機械研磨裝置及修整盤脫落偵測方法

    1374   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:12
    本發明提供一種可偵測研磨過程中修整盤脫落的修整盤系統、化學機械研磨裝置以及修整盤脫落的偵測方法，修整盤系統包括：修整盤，用于在研磨過程中修整研磨墊；固定盤，位于所述修整盤上方，且與所述修整盤相固定；偵測系統，包括絕緣部件以及傳感器組件，所述絕緣部件設置于所述固定盤內，具有相對的第一表面和第二表面，所述第一表面與所述修整盤相接觸，所述傳感器組件設置于所述第二表面上，所述偵測系統用于對所述修整盤脫落情況的偵測。通過上述方案，本發明的修整盤系統，通過偵測系統偵測在研磨過程中修整盤脫落情況，實時偵測，及時發現修整盤的脫落；偵測方法中可以采用電容式傳感器，測試信號直觀，實現方式簡便。
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