在具有至少一個與工件(12)間隔一條縫隙(34)布 置的電極(26)的電化學加工工具組件(10)中,通過在電極和工件 之間施加電位差ΔV使電極通電,一種監測加工的方法包括: 激發至少一個超聲波傳感器(42)以將超聲波引導向電極表面 (102),并且使用該超聲波傳感器接收從電極表面反射回來的超 聲波。該反射超聲波包括從電極表面和工件表面反射回來的反 射波。所述方法進一步包括在電極和工件之間的電位差降低之 后,使超聲波傳感器的激發延遲停留時間 Td。
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