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    用于生化分析的陣列式傳感器集成芯片及其制備方法

    873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:54:48
    本發明涉及半導體芯片領域，公開了一種用于生化分析的陣列式傳感器集成芯片及其制備方法。通過本發明創造，一方面在ISFET傳感器中，通過為ISFET場效應晶體管配置一個鏡像對稱的REFET場效應晶體管，并將兩晶體管的參考電極設置在對稱中心線上實現共用，可以利用REFET場效應晶體管的敏感響應結果作為參照，排除環境溫度、電場噪聲和其它非樣品溶液因素所帶來的影響，提升ISFET傳感器的穩定性，另一方面通過為各個ISFET傳感器提供一個單獨的液體樣品容納孔，可以利用高程孔壁有效阻礙相鄰樣品溶液的流動性，減少出現交叉污染和電噪聲串擾等情況，進而可以有效減小各個ISFET傳感器的測量誤差，確保對生物或化學物的測量準確性。
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    化學分析
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