本發明公開了一種針對器件微放電抑制的多尺度關聯分析方法,該方法涉及原子至納米尺度、微米尺度和毫米至厘米尺度三個尺度,主要包括各個尺度上的參數計算和各尺度間的關聯邏輯。原子至納米尺度即材料化學組分與原子幾何結構層面,表面微觀結構層面屬于微米尺度,而微波器件層面屬于毫米至厘米尺度。該方法是一種從材料到表面再到器件的關聯分析與設計方法。而且此關聯分析方法成本低、周期短、效率高,為微放電實驗的開展節省了大量的時間和無效試錯成本。
聲明:
“針對器件微放電抑制的多尺度關聯分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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