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    摻雜元素對HfO2鐵電薄膜疇結構影響的相場分析方法

    898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:55:29
    本發明公開了一種摻雜元素對HfO2鐵電薄膜疇結構影響的相場分析方法。該方法包括建立極化序參量的總能量方程；基于所述總能量方程建立基于摻硅元素影響的力場控制方程、極化場控制方程和電場控制方程；基于摻雜元素的化學能和梯度能建立摻雜元素能量方程；基于所述摻雜元素能量方程建立濃度場控制方程；根據所述力場控制方程、極化場控制方程、電場控制方程和濃度場控制方程建立鐵電薄膜的相場計算模型；基于所述相場計算模型，通過調整摻雜元素的濃度和分布方式模擬所述HfO2鐵電薄膜的相變規律。該方法通過引入摻雜元素的摻雜元素能量方程，使得HfO2鐵電薄膜的相場計算模型能夠為摻雜元素的濃度和分布方式提供優化指導。
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    化學分析
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