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    化學機械研磨裝置以及化學機械研磨方法

    708   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:55:31
    本發明公開了一種化學機械研磨裝置以及化學機械研磨方法,該化學機械研磨裝置包括:研磨平臺;驅動裝置,與所述研磨平臺連接,用于驅動所述研磨平臺旋轉;傳感器,與所述研磨平臺連接,用于測量研磨平臺的轉速并將所述轉速轉換為轉速信號;控制器,與所述傳感器連接,用于接收傳感器輸出的轉速信號并根據所述轉速信號輸出報警信號,以啟動報警裝置報警。所述傳感器可測量所述研磨平臺的實際轉速,一旦所述研磨平臺的轉速出現異常,所述控制器可根據傳感器輸出的轉速信號輸出報警信號,操作人員即可知曉所述化學機械研磨機臺出現故障并及時處理晶片,從而避免晶片報廢。
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    “化學機械研磨裝置以及化學機械研磨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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